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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211014306.3 (22)申请日 2022.08.23 (71)申请人 中国科学院空天信息创新研究院 地址 100080 北京市海淀区北四环西路19 号 (72)发明人 冯蕾 周锦松 黄旻 何晓英 魏立冬 李雅灿 景娟娟 (74)专利代理 机构 北京凯特来知识产权代理有 限公司 1 1260 专利代理师 郑立明 赵镇勇 (51)Int.Cl. G01J 3/28(2006.01) G01J 3/02(2006.01) G06F 30/20(2020.01) (54)发明名称 一种微型光谱成像 仪的设计方法 (57)摘要 本发明公开了一种微型光谱成像仪的设计 方法, 确定光谱通道数及单个通道的光谱范围, 由谱段范围, 系统焦距等参数确定校像差透镜的 聚焦位相函数, 结合粒子群优化算法, 优化不同 结构下的位相、 透过率与结构参数之间的映射关 系, 确定校像差透镜的全模结构及周 期参数; 建 立基于分布式布拉格反射器的滤波阵列, 根据需 求确定单个通道的中心频率, 光谱带宽, 长波及 短波频率, 由此确定两种不同高低折射率的介 质, 由单个通道的带宽参数决定滤波腔体的膜层 参数, 通过优化膜层的数目及不同介质的厚度, 获得满足一定要求的单峰透过率最高的滤波结 构参数, 实现窄带滤波的设计。 无需任何运动组 件, 一次拍照可同时获取空间维和光谱维的成 像, 有效提高时间分辨率, 实现系统的集成化、 小 型化设计 。 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 CN 115290188 A 2022.11.04 CN 115290188 A 1.一种微型光谱成像仪的设计方法, 其特 征在于, 包括 步骤: A、 根据需求, 确定光谱通道数及单个通道的光谱范围, 由谱段范围, 系统焦距等参数确 定校像差透镜的聚焦位相函数, 结合粒子群优化算法, 优化不同结构下的位相、 透过率与结 构参数之间的映射关系, 建立单元结构的参数与位相函数关系, 进而确定校像差透镜的全 模结构及周期参数; B、 建立基于分布式布拉格反射器的滤波阵列, 首先根据需求确定单个通道的中心频 率, 光谱带宽, 长波及短波频率, 由此确定两种不同高低折射率的介质, 由单个通道的带宽 参数决定滤波腔体的膜层参数, 通过优化膜层的数目及不同介质的厚度, 获得满足一定要 求的单峰透过率 最高的滤波结构参数, 实现窄带 滤波的设计。 2.根据权利要求1所述的微型光谱成像仪的设计方法, 其特 征在于: 所述步聚A包括: 综合使用需求, 选 定光谱范围: 3~5um, 光谱波段 数: 6个, 焦距: 2m m; 由目标、 校像差成像透 镜阵列, 空间分割滤波器以及面阵探测器三部分组成; 每个透镜都在特定波长处进行像差校正, 滤波器通过抑制远离设计波长的传输, 有效 提高图像分辨 率和对比度; 目标位于有限远时, 光源照亮目标, 同一物点发出球面波, 经校像差成像透镜后, 实现 对目标空间维成像; 每个校像差透镜均可形成多色图像, 经由滤波器后, 通过抑制远离设计波长的传输, 提 高了图像分辨 率和对比度, 实现对目标的光谱维成像; 只有经过相关滤波器通带中的目标像才能到达像平面, 像平面由多个具有窄光谱范围 构成的图像通道, 光谱数据立方体是通过堆叠这些通道来构成的; 通过连续采集, 实现动态图像和光谱视频 数据的采集; 所述步骤B包括: 全系统中校像差成像镜采用超透镜 阵列,滤波器由超表面滤光阵列构成, 透镜的相位 分布写成: 其中, φ是透镜所需相位, r是径向坐标, f为焦距, λ是设计工作波长, 相位公式是基于 目标波长下的相位分布; 由相位分布公式得, 在透 镜中心处, 相位 值最小, 在透 镜边缘处, 相位调控量增大; 采用传输相位调制, 首先设定目标基本指标参数, 如焦距、 器件尺寸等; 然后建立单元 结构模型, 并扫描不同波长下 的相位与结构参数 的关系, 进而构建不同波长下 的全系统结 构; 单元结构为设于基底上的圆柱结构, 材料均为硅, 通过公式(1)计算透镜不同位置处 的 圆柱半径, 设定目标性能及分析参数, 利用优化 算法, 最终确定波长为3微米的全系统结构; 空间分割滤波器由阵列结构组成, 每个滤波器由布拉格反射器DBR和中间微结构阵列 构成, 每对DBR及中间微结构阵列构成谐振腔; 设计过程首先确定DBR的中心频率, 根据中心波长, 确定所用的两种高低折射率介质材权 利 要 求 书 1/2 页 2 CN 115290188 A 2料, DBR由非晶硅a ‑Si和二氧化硅SiO2层交替组成, 微结构由纳米孔阵列构成, 纳米孔排列 在六角形晶格上, 每个滤波器中的DBR结构相同, 整个滤波器结构是周期性, 通过调整单元 结构尺寸, 改变谐振波长, 实现不同设计波长的峰值输出。 3.根据权利要求2所述的微型光谱成像仪的设计方法, 其特征在于, 通过电磁仿真软件 及编程软件, 建立全系统模型并编制脚本, 分别对全系统结构在不同波长下进 行扫描, 获得 不同通道的能量聚焦图, 并将图像中不同通道的亮度进行归一化, 获得六个通道的聚焦光 斑图, 横轴代表波长, 纵轴为聚焦光斑的亮度归一化信息, 单个通道有效聚焦在不同位置 处, 即有效实现了在同一焦面处的聚焦 及色散。权 利 要 求 书 2/2 页 3 CN 115290188 A 3
专利 一种微型光谱成像仪的设计方法
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