(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210980764.6 (22)申请日 2022.08.16 (71)申请人 珠海创飞芯科技有限公司 地址 519080 广东省珠海市唐家湾镇大 学 路101号清华科技园3 栋305 (72)发明人 吴侃源　边雅倩　王志刚　 (74)专利代理 机构 北京集佳知识产权代理有限 公司 11227 专利代理师 史翠 (51)Int.Cl. G06F 30/20(2020.01) G06F 119/02(2020.01) (54)发明名称 一种评估冗余阵列是否满足替换要求的方 法及装置 (57)摘要 本申请公开了一种评估冗余阵列是否满足 替换要求的方法及装置， 可应用于芯片生产设计 技术领域， 所述方法包括： 获取芯片具体失效单 元的地址信息； 基于所述地址信息建立晶圆失效 地址数据库； 利用所述数据库进行数学建模， 得 到对晶圆中各芯片进行修复所需冗余阵列的数 量； 根据所述对晶圆中各芯片进行修复所需冗余 阵列的数量， 得到冗余阵列个数和晶圆良率之间 的关系。 本申请基于生产出的芯片实际出现的失 效单元的地址信息， 利用数学建模进行对冗余阵 列进行评估与分析， 能够得到准确的冗余阵列个 数和晶圆良率之间的关系， 从而能够结合对产品 良率的需求对冗余阵列个数进行设定， 解决了预 留多少冗余阵列才能满足主阵列失效单元替换 的需求的问题。 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 CN 115292949 A 2022.11.04 CN 115292949 A 1.一种评估冗余阵列是否满足替换要求的方法， 其特 征在于， 所述方法包括： 获取芯片具体失效单 元的地址信息； 基于所述 地址信息建立晶圆失效地址数据库； 利用所述数据库进行 数学建模， 得到对晶圆中各芯片进行修复所需冗余阵列的数量； 根据所述对晶圆中各芯片进行修复所需冗余阵列的数量， 得到冗余阵列个数和晶圆良 率之间的关系。 2.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述获取芯片具体失效单元的地址信息， 包括： 在筛选失效芯片时， 利用失效地址存 储器模块获取芯片具体失效单 元的地址信息 。 3.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述基于所述地址信 息建立晶圆失效地址 数据库， 包括： 基于所述 地址信息生成数据文件； 根据所述数据文件建立晶圆失效地址数据库。 4.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述利用所述数据库进行数学建模， 得到 对晶圆中各芯片进行修复所需冗余阵列的数量， 包括： 利用所述数据库， 根据芯片设计方案和版图排布规则获取物理地址映射公式； 根据所述物理地址映射公式以及针对所述失效单元的替换规则进行数学建模， 得到对 晶圆中各芯片进行修复所需冗余阵列的数量。 5.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述根据所述对晶圆中各芯片进行修复所 需冗余阵列的数量， 得到 冗余阵列个数和晶圆良率之间的关系， 包括： 利用数据统计工具根据所述对晶圆中各芯片进行修复所需冗余阵列的数量生成冗余 阵列个数和晶圆良率关系图。 6.一种评估冗余阵列是否满足替换要求的装置， 其特 征在于， 所述装置包括： 地址信息获取模块， 用于获取芯片具体失效单 元的地址信息； 数据库建立模块， 用于基于所述 地址信息建立晶圆失效地址数据库； 建模模块， 用于利用所述数据库进行数学建模， 得到对晶圆中各芯片进行修复所需冗 余阵列的数量； 关系获取模块， 用于根据所述对晶圆中各芯片进行修复所需冗余阵列的数量， 获取冗 余阵列个数和晶圆良率之间的关系。 7.根据权利要求6所述的装置， 其特征在于， 所述地址信息获取模块， 具体用于在筛选 失效芯片时， 利用失效地址存 储器模块获取芯片具体失效单 元的地址信息 。 8.根据权利要求6所述的装置， 其特 征在于， 所述数据库建立模块， 包括： 数据文件生成单 元， 用于基于所述 地址信息生成数据文件； 数据库建立单 元， 用于根据所述数据文件建立晶圆失效地址数据库。 9.根据权利要求6所述的装置， 其特 征在于， 所述建模 模块， 包括： 映射公式获取单元， 用于利用所述数据库， 根据芯片设计方案和版图排布规则获取物 理地址映射公式； 建模单元， 用于根据 所述物理地址映射公式以及针对所述失效单元的替换规则进行数 学建模， 得到对晶圆中各芯片进行修复所需冗余阵列的数量。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115292949 A 210.根据权利要求6所述的装置， 其特征在于， 所述关系获取模块， 具体用于利用数据统 计工具根据所述对晶圆中各芯片进行修复所需冗余阵列的数量生成冗余阵列个数和晶圆 良率关系图。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115292949 A 3