(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210944521.7 (22)申请日 2022.08.08 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 115015731 A (43)申请公布日 2022.09.06 (73)专利权人 北京芯可鉴科技有限公司 地址 102200 北京市昌平区双营西路79号 院中科云谷园1 1号楼一层 专利权人 北京智芯微电子科技有限公司 　 国网山东省电力公司营销服 务中 心 （计量中心） 　 国家电网有限公司 (72)发明人 赵东艳　付振　梁英宗　王于波　 陈燕宁　张东嵘　成睿琦　王凯　 杨剑　杜艳　 (74)专利代理 机构 北京智信四方知识产权代理 有限公司 1 1519 专利代理师 彭杰 (51)Int.Cl. G01R 31/26(2014.01)G01R 31/12(2006.01) G06F 17/11(2006.01) G06F 30/20(2020.01) H01L 21/66(2006.01) (56)对比文件 CN 111220890 A,2020.0 6.02 CN 101995536 A,2011.03.30 US 20101 17676 A1,2010.0 5.13 US 2004208227 A1,20 04.10.21 CN 113960438 A,202 2.01.21 CN 103048600 A,2013.04.17 CN 113990866 A,2022.01.28 熊印国.相对变换 KFCM的变压器油击穿电压 预测. 《控制工程》 .2018,第25卷(第1 1期),第 2035-2040页. (续) 审查员 岳梦迪 (54)发明名称 器件击穿电压确定方法、 装置、 芯片、 电子设 备及介质 (57)摘要 本公开涉及半导体技术领域， 具体涉及一种 器件击穿电压确定方法、 装置、 芯片、 电子设备及 介质， 所述器件击穿电压确定方法包括： 获取器 件在不同条件 下的多条击穿电压特性曲线； 获取 所述多条击穿电压特性曲线对应的时间序列数 据Y； 基于普雷斯科特HP滤波法对所述时间序列 数据Y进行滤波， 得到所述时间序列数据Y中的周 期项C； 基于匹配算法确定所述周期项C的特征 点； 基于所述特征点确定所述器件击穿电压的置 信区间。 采用本公开实施例的技术方案， 能够解 决现有技术中人工提取击穿电压参数时效率低、 误差大的技术问题， 实现了器件击穿电压的自动提取， 提取效率高、 精度高。 [转续页] 权利要求书4页 说明书15页 附图4页 CN 115015731 B 2022.10.04 CN 115015731 B (56)对比文件 Bilbao, A 等.P SPICE Modeling of Silicon Carbide MOSFETS and Device Parameter Ext raction. 《PROCEEDINGS OF TH E 2012 IEEE INTERNATIONAL POWER MODULATOR AND HIGH VOLTAGE CONFERENC E》 .2013,第7 76- 779页.2/2 页 2[接上页] CN 115015731 B1.一种器件击穿电压确定方法， 其特 征在于， 包括： 获取器件在不同工艺条件下的多条击穿电压特性曲线， 其中所述不同工艺条件为掺杂 浓度、 热扩散温度和时间、 离 子注入能量和剂量、 结构尺寸 参数； 获取所述多条击穿电压特性曲线对应的时间序列数据Y； 基于普雷斯科特HP滤波法对所述时间序列数据Y进行滤波， 得到所述时间序列数据Y 中 的周期项C； 基于匹配算法确定所述周期项C的特 征点； 基于所述特 征点确定所述器件击穿电压的置信区间。 2.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述获取器件在不同工艺条件下的多条击 穿电压特性曲线， 包括： 通过仿真和/或测量获取器件在不同工艺条件下的多条击穿电压特性曲线。 3.根据权利要求1所述的方法， 其特 征在于， 所述器件为齐纳二极管。 4.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述获取所述多条击穿电压特性曲线对应 的时间序列数据  Y， 包括： 提取所述多条击穿电压特性曲线中的特征参数， 构成初始时间序列数据， 所述特征参 数至少包括所述器件的电压值； 对所述初始时间序列数据进行插值， 得到等时间 间隔的时间序列数据Y 。 5.根据权利要求4所述的方法， 其特征在于， 所述特征参数还包括所述器件的电流值 和/或所述击穿电压特性曲线对应的工艺条件。 6.根据权利要求1所述的方法， 其特征在于， 所述基于普雷斯科特HP滤波法对所述时间 序列数据Y进行 滤波， 得到所述时间序列数据Y中的周期项C， 包括： 基于公式Y=[I+λF]G确定所述时间序列数据Y 的趋势项G， 其中， I为单位矩阵， F为系数 矩阵， λ为平 滑指数， λ ≥0； 基于公式C = λFG确定所述周期项C 。 7.根据权利要求6所述的方法， 其特 征在于， 所述系数矩阵F通过以下 方式确定： 确定所述时间序列数据Y的损失函数M； 根据公式 确定最小损失函数min(M)， 其中， yt为所述时间序列数据Y中的数据项， Y={y1， y2 …… yT}， gt为所述趋势项G中的数据项， G={g1， g2 ……gT}， T为时间序列数据中的最大时间值； 基于上述最小损失函数min(M)确定公式对g1、 g2、 ……、 gT的一阶导数确定所述系数矩 阵权　利　要　求　书 1/4 页 2 CN 115015731 B 3