(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 2021231685 39.2 (22)申请日 2021.12.16 (73)专利权人 中锗科技有限公司 地址 211299 江苏省南京市溧水开发区中 兴东路9号 (72)发明人 周锐　刘桂勇　刘兴达　刘于　 柯尊斌　王卿伟　 (74)专利代理 机构 南京中律知识产权代理事务 所(普通合伙) 32341 专利代理师 李建芳 (51)Int.Cl. B01F 27/90(2022.01) B01F 35/71(2022.01) B01F 35/75(2022.01) B01F 25/50(2022.01)B01F 23/80(2022.01) B01D 29/33(2006.01) B24B 57/02(2006.01) B24B 57/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装 置 (57)摘要 本实用新型公开了一种循环过滤的磷化铟 研磨液稳定 供药装置， 包括搅拌缸、 搅拌电机、 搅 拌桨、 硬质套管、 第一输液软管、 蠕动泵、 循环过 滤装置、 第二输液软管和回液循环泵； 搅拌缸的 顶部设有端盖； 搅拌电机安装在端盖中央， 搅拌 桨位于搅拌缸内侧， 搅拌桨的顶部穿出端盖与搅 拌电机的转轴连接； 搅拌缸内侧底部呈与搅拌桨 底部角度相适应的锥形； 硬质套管位于搅拌缸内 侧、 且可拆卸连接在端盖上； 第一输液软管一端 穿过硬质套管伸入搅拌缸的底部、 另一端分支为 第一支管和第二支管； 第一支管与蠕动泵的进料 口连通； 回液循环泵安装在端盖上， 第二支管、 循 环过滤装置、 第二输液软管、 回液循环泵和搅拌 缸依次连通。 上述装置解决了卡死问题， 提高了 研磨质量。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 216498811 U 2022.05.13 CN 216498811 U 1.一种循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置， 其特征在于： 包括搅拌缸、 搅拌电机、 搅拌桨、 硬质套管、 第一输液 软管、 蠕动泵、 循环过 滤装置、 第二输液 软管和回液循环泵； 搅拌缸的顶部设有端盖， 端盖上设有加料口， 加料口上设有遮挡板； 搅拌电机安装在端 盖上表面中央， 搅拌桨位于搅拌缸内侧， 搅拌桨的顶部穿出端盖与搅拌电机的转轴连接， 搅 拌桨的底部呈V形； 搅拌缸内侧底部呈与搅拌桨底部角度相适应的锥形； 硬质套管位于搅拌缸内侧、 且可拆卸连接在端盖上； 第一输液软管一端穿过硬质套管 伸入搅拌缸的底部、 另一端分支为第一支管和第二支管； 第一支管与蠕动泵的进料口连通， 第二支管与循环过滤装置的进料口连通； 回液循环 泵安装在端盖上， 第二输液软管一端与循环过滤装置的出料 口连通、 另一端与回液循环泵 的进料口连通， 回液循环泵的出 料口穿过端盖通向搅拌缸内。 2.如权利要求1所述的循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置， 其特征在于： 循环过滤 装置包括滤筒和滤芯， 滤芯横截面为圆环状， 滤芯位于滤筒内， 滤芯的底部与滤筒内侧底部 相接， 滤芯的顶部与滤筒内侧顶部相接， 滤芯外侧壁与滤筒内侧壁之 间的区域为储液区， 滤 芯内侧为净液区， 进料 口设在储液区正对的滤筒侧 壁上， 出料口设在净液区正对的滤筒顶 部。 3.如权利要求2所述的循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置， 其特征在于： 滤芯的过 滤精度为20 μm～10 0 μm。 4.如权利要求1 ‑3任意一项所述的循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置， 其特征在 于： 硬质套 管的顶部外侧设有沿周边设置的卡环， 端盖的边缘内侧设有通孔， 通孔的直径小 于卡环的外径、 且不小于硬质套管的外径； 硬质套管底部从通孔穿过、 到达搅拌缸内底部， 硬质套管顶部的卡环被卡 合在通孔外侧。 5.如权利要求1 ‑3任意一项所述的循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置， 其特征在 于： 搅拌缸内侧底部与搅拌桨底部相互平行； 搅拌缸内侧底部与搅拌桨底部之间的间隔不 大于5cm。 6.如权利要求1 ‑3任意一项所述的循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置， 其特征在 于： 第一输液软管由第一支管、 第二支管、 第三支管和三通阀组装而成， 第一支管、 第二支管 和第三支管分别连通在三通阀的三个头部； 其中第三支管穿过硬质套管伸入搅拌缸的底 部。 7.如权利要求1 ‑3任意一项所述的循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置， 其特征在 于： 遮挡板转动连接在加料口外侧。 8.如权利要求1 ‑3任意一项所述的循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置， 其特征在 于： 搅拌缸、 搅拌桨和硬质套管所用材质均为不锈钢； 搅拌缸的底部设有沿周边设置的3个 以上的带锁滚轮。 9.如权利要求1 ‑3任意一项所述的循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置， 其特征在 于： 蠕动泵的出 料口通过第三输液 软管通向研磨机 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216498811 U 2一种循环过滤的磷化铟研磨液稳定 供药装置 技术领域 [0001]本实用新型涉及一种磷化铟研磨液稳定供药装置， 属于磷化铟研磨液供药装置技 术领域。 背景技术 [0002]现有技术中， 磷化铟双面研磨液采用沉降式泵抽 取， 泵头较大、 且有一定的厚度， 搅拌缸底部约1/4左右的研磨液是抽不到的； 同时也导致搅拌浆的设计比较 短小， 搅拌浆的 底部与搅拌缸底部之间的距离较大， 搅拌缸底部通常是处于搅拌缸高度的中间位置左右， 在添加研磨粉过程中， 由于沉降式泵在研磨液内部， 研磨粉容易在沉降式泵内沉淀导致卡 死， 需要抬起泵拆卸螺丝， 清理泵内部结块， 不利于操作； 由于搅拌桨较短等问题， 在不堵的 情况下也会导致研磨过程中出现研磨液断流及结块现象， 进而导致研磨过程中容易产生磷 化铟划伤及碎片等情况。 另外沉降式泵抽流量不好控制， 需要安装泄压阀， 供液阀也是阀门 控制， 非连续作业时， 阀门出容易出现粉末堆积导致堵塞及掉出块状粉末也会引起磷化铟 划伤等情况发生。 实用新型内容 [0003]本实用新型提供一种循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置， 将沉降式泵改为蠕 动泵， 可有效的控制研磨液 的流量， 且蠕动泵是在研磨液外部， 不容易产生泵头卡死现象， 且清理及维护都比较轻松； 将搅拌缸内侧底部呈与搅拌桨底部角度相适应的锥形， 延长了 搅拌桨的深度， 提高了搅拌的充分性， 减少了研磨粉团聚、 沉淀等现象； 设置了循环过滤装 置， 避免了研磨液中的较大颗粒对磷化铟的损伤； 通过硬质套管将输液软管送到搅拌缸内 底部， 使研磨液抽离更加彻底， 提升 了研磨液的利用率， 同时稳定安全。 [0004]为解决上述 技术问题， 本实用新型 所采用的技 术方案如下： [0005]一种循环过滤的磷化铟研磨液稳定供药装置， 包括搅拌缸、 搅拌电机、 搅拌桨、 硬 质套管、 第一输液 软管、 蠕动泵、 循环过 滤装置、 第二输液 软管和回液循环泵； [0006]搅拌缸的顶部设有端盖， 端盖上设有加料口， 加料口上设有遮挡板； 搅拌电机安装 在端盖上表面中央， 搅拌桨位于搅拌缸内侧， 搅拌桨的顶部穿出端盖与搅拌电机的转轴连 接， 搅拌桨的底部呈V形； 搅拌缸内侧底部呈与搅拌桨底部角度相适应的锥形； [0007]硬质套管位于搅拌缸内侧、 且可拆卸连接在端盖上； 第一输液软管一端穿过硬质 套管伸入 搅拌缸的底部、 另一端分支为第一支管和第二支管； [0008]第一支管与蠕动泵的进料口连通， 第二支管与循环过滤装置 的进料口连通； 回液 循环泵安装在端盖上， 第二输液软管一端与循环过滤装置的出料 口连通、 另一端与回液循 环泵的进料口连通， 回液循环泵的出 料口穿过端盖通向搅拌缸内。 [0009]上述蠕动泵式供 液系统可去掉阀门管道更不 容易产生结块现象。 [0010]上述装置用于磷化铟单晶衬底片于研磨时， 研磨液的稳定供 给。 [0011]使用时， 将Al2O3研磨液原料在搅拌缸内搅拌2小时以上， 搅拌时， 搅拌缸内物料不说　明　书 1/4 页 3 CN 216498811 U 3