ICS 71.040.40 G 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32996—2016/ISO/TS25138:2010 表面化学分析辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜 Surface chemical analysis-Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry (ISO/TS25138:2010,IDT) 2016-10-13发布 2017-09-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会 GB/T32996-2016/ISO/TS251382010 目次前言 1 范围 2 规范性引用文件 3 原理 4 仪器 5 调节辉光放电谱仪系统设置 6 样品处理 7 建立工作曲线 8 测试样品的分析 9 分析结果的表示· 10 精密度 11 实验报告 13 附录A（规范性附录）工作曲线常数的计算和深度剖析的定量评价附录B（资料性附录）测定元素的建议谱线 22 附录C（资料性附录）氧化物密度和相关量p。的实例附录D（资料性附录）金属氧化物膜实验室间试验报告 25 参考文献 30

GB-T 32996-2016 表面化学分析辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

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