ICS 71.100.20 G 86 中华人民共和国国家标准 GB/T 34085—2017 电子工业用气体 三氟甲烷 Gas for electronic industryTrifluoromethane 2017-11-01实施 2017-07-31发布 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T34085—2017 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。 本标准起草单位：国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、广东华特气体股份有限公司、 浙江巨化股份有限公司、高麦仪器公司、浙江省化工研究院、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大 股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司。 本标准主要起草人：陈熔、林宇巍、傅铸红、杜汉盛、叶红艳、牛艳东、史婉君、孙福楠、曲庆、方华、 王鸿、崔学文、周朋云。 1 GB/T 34085—2017 电子工业用气体 三氟甲烷 范围 1 本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等 离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体 分子式：CHF。 相对分子质量：70.013（按2011年国际相对原子质量）。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 钢质无缝气瓶 GB/T 5099 GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB/T16804气瓶警示标签 GB/T26571 特种气体储存期规范 GB/T 28726 气体分析氨离子化气相色谱法 TSGR0006 气瓶安全技术监察规程 危险化学品安全管理条例（2002版） 特种设备安全监察条例（2009版） 3技术要求 三氟甲烷的质量应符合表1的要求。 表1技术指标 项目 指标 三氟甲烷（CHF）纯度（体积分数）/10-2 666°66 氧+氩（O+Ar)含量（体积分数）/10-6 < 1 氮（N，）含量（体积分数）/10-6 > 3 一氧化碳（CO)含量（体积分数）/10-6 < 1 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 < 1 1 GB/T34085—2017 表1 (续) 项目 指标 其他碳氟化合物（一氟二氯甲烷、二氟甲烷、二氟一氯甲烷、二氟二 3 氯甲烷、1，1，1-三氟乙烷、四氟化碳）含量（体积分数）/10-6 水（H,O)含量（体积分数）/10-6 < 1 酸度（以HF计）含量（质量分数）/10-6 < 0.1 总杂质含量（体积分数）/10-6 10 颗粒 供需双方商定 4 试验方法 4.1 抽样、判定和复检 4.1.1 三氟甲烷产品除酸度外的其他指标应逐一检验并验收，酸度每批次检一瓶。当检验结果有任何 一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格。 4.1.2三氟甲烷采样安全应符合GB/T3723中的相关规定。 4.2三氟甲烷纯度 4.2.1 总杂质含量按式（1）计算： .(1) 式中： Φ 总杂质含量（体积分数），10-； 氧十氩的含量（体积分数），10一； 氮气的含量（体积分数），10-； D: 氧化碳的含量（体积分数），10-； @4 一二氧化碳的含量（体积分数），10-6； 其他碳氟化合物的含量（体积分数），10-； Φ6——水含量（体积分数），10-6。 4.2.2 三氟甲烷纯度按式（2)计算： @=100-@, ×10-4 ...(2) 式中： Φ三氟甲烷纯度（体积分数），10-²。 4.3氧十氩、氮、一氧化碳、二氧化碳和其他氟碳化合物含量的测定 按GB/T28726规定的切割进样的方法测定三氟甲烷中的氧十氩、氮、一氧化碳、二氧化碳和其他 氟碳化合物含量。 预分离柱：长约2m、内径2mm的316L不锈钢柱，内装粒径为0.18mm~0.25mm的PorapakQ （高分子聚合物），或其他等效色谱柱。 2